截至4月3日收盘，光刻机概念上涨2.84%，位居概念板块涨幅第1，板块内，32股上涨，中船特气20%涨停，中瓷电子涨停，腾景科技、中润光学、美迪凯等涨幅居前，分别上涨19.22%、13.03%、11.48%。跌幅居前的有*ST和科、南京化纤、华亚智能等，分别下跌3.71%、3.32%、3.13%。
今日涨跌幅居前的概念板块
概念今日涨跌幅（%）概念今日涨跌幅（%）光刻机2.84生态农业-4.16共封装光学(CPO)2.12粮食概念-4.15F5G概念1.82医疗废物处理-4.08光纤概念1.79土地流转-3.996G概念0.68供销社-3.96铜缆高速连接0.60玉米-3.83华为海思概念股0.42煤炭概念-3.65中船系0.37生物质能发电-3.63MicroLED概念0.35建筑节能-3.62先进封装0.31化肥-3.59资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入10.21亿元，其中，29股获主力资金净流入，7股主力资金净流入超5000万元，净流入资金居首的是中瓷电子，今日主力资金净流入3.35亿元，净流入资金居前的还有腾景科技、炬光科技、大族激光等，主力资金分别净流入1.34亿元、1.02亿元、9306.56万元。
资金流入比率方面，中瓷电子、晶方科技、蓝英装备等流入比率居前，主力资金净流入率分别为20.50%、11.16%、10.45%。（数据宝）
光刻机概念资金流入榜
代码简称今日涨跌幅（%）今日换手率（%） 主力资金流量（万元）主力资金净流入比率（%）003031中瓷电子10.005.5633461.6520.50688195腾景科技19.228.6513425.863.69688167炬光科技4.407.8710196.543.57002008大族激光3.482.979306.565.14300456赛微电子2.4812.058818.992.49688146中船特气20.0121.038282.545.53603005晶方科技2.263.787289.0711.16688268华特气体9.979.684791.884.06300293蓝英装备8.425.633607.2910.45603738泰晶科技1.6911.703117.042.71688127蓝特光学6.373.242586.193.18301421波长光电1.6910.582372.295.29002549凯美特气0.394.981658.522.62688630芯碁微装2.823.351555.621.82301568思泰克2.389.071291.025.96300666江丰电子10.077.731246.720.50603773沃格光电3.592.951128.285.08688605先锋精科1.132.041035.287.73688502茂莱光学2.261.51882.553.60688199久日新材1.722.25614.056.94301095广立微3.682.97606.861.76688010福光股份6.923.39552.013.33300786国林科技0.433.39232.183.33603297永新光学3.961.49228.511.32300809华辰装备-0.401.29102.761.64688409富创精密0.050.8598.890.42688079美迪凯11.485.3198.810.34300260新莱应材1.302.2360.430.21603800洪田股份-2.741.3551.970.48002889东方嘉盛-1.830.510.000.00301209联合化学-2.140.75-43.31-0.71002816*ST和科-3.712.27-81.01-1.62600889南京化纤-3.321.19-138.37-2.36301297富乐德0.490.65-208.88-2.65300414中光防雷-0.951.86-232.08-2.95688376美埃科技3.011.76-337.59-2.26003043华亚智能-3.134.54-495.69-2.40300219鸿利智汇-0.422.19-593.00-5.41600619海立股份-0.381.52-634.67-3.30600895张江高科0.440.89-690.02-1.45300990同飞股份-1.252.86-1169.97-6.94301611珂玛科技-2.143.67-1261.55-2.60603360百傲化学-1.640.94-1314.25-7.47300331苏大维格0.433.34-1471.83-4.89600353旭光电子-0.791.39-2241.23-13.96600850电科数字-1.390.88-2580.70-19.52688307中润光学13.0313.40-3125.02-3.10（文章来源：证券时报网）